返回对话
成果
560 万元
半导体晶圆传输真空机器人
研究机构：南京航空航天大学
关键信息
技术领域
高端装备
地域
上海
技术成熟度(TRL)
7
价格
560 万元
转化方式
转让
交易方式
挂牌转让
技术简介
12 英寸晶圆真空传输机器人，洁净度 Class1，传输周期 <4 秒，适配先进工艺机台。
技术关键词
真空机器人
晶圆传输
半导体装备
商业计划书
供给方暂未上传商业计划书